等離子體表面處理在光學(xué)儀器的應(yīng)用

   光學(xué)鏡片的鍍膜技術(shù)是整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的一個(gè)重要組成部分，良好的鍍膜技術(shù)能改善鏡片的折射率、阿貝數(shù)、散射、衍射和化學(xué)性能。光學(xué)薄膜真空鍍膜技術(shù)一般采用物理氣相沉積（PVD）技術(shù)，包括熱蒸發(fā)、濺射、離子鍍等方法。而在鍍膜前的光學(xué)鏡片一般須經(jīng)過(guò)離心力清洗機(jī)和超聲波清洗機(jī)清洗，但若想要得到超潔凈的基體表面，則需進(jìn)一步的采用等離子體清洗，不僅能去除表面經(jīng)離心力清洗和超聲波清洗后的有機(jī)殘留物，還能對(duì)于后道鍍膜技術(shù)起到積極作用。

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