低溫等離子體介紹1

等離子體的分類

1、按等離子體焰溫度分：
（1）高溫等離子體：溫度相當(dāng)于10⁸~10⁹ K完全電離的等離子體，如太陽(yáng)、受控?zé)岷司圩兊入x子體。
（2）低溫等離子體：
熱等離子體：稠密高壓（1大氣壓以上），溫度10³~10⁵K，如電弧、高頻和燃燒等離子體。
冷等離子體：電子溫度高（10³~10⁴K）、氣體溫度低，如稀薄低壓輝光放電等離子體、電暈放電等離子體、DBD介質(zhì)阻擋放電等離子體、索梯放電等離子體等。
2、按等離子體所處的狀態(tài)：
（1）平衡等離子體：氣體壓力較高，電子溫度與氣體溫度大致相等的等離子體。如常壓下的電弧放電等離子體和高頻感應(yīng)等離子體。
（2）非平衡等離子體：低氣壓下或常壓下，電子溫度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于氣體溫度的等離子體。如低氣壓下DC輝光放電和高頻感應(yīng)輝光放電，大氣壓下DBD介質(zhì)阻擋放電等產(chǎn)生的冷等離子體。

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